通过测SEM怎么知道材料中各元素的含量，准确不？

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

这里面有几个问题：1、钢的整体的碳成分是多少并不表示任何一点的碳成分均是这个数字，钢里有贫碳相如铁素体，也有富碳相如渗碳体，打在不同的部位得数也不一样；2、碳是轻元素，成分测量的误差本来就较大；3、eds本身的精度不高，只做定性分析之用，不做定量之用。

EDS虽是体含量，但主要是定性测量，定量很麻烦，要标定的，一般人家不给做；XPS一般是表层1~3nm处的含量，但是定量准确，精确度在95%以上。你要发高水平的SCI，建议用XPS；一般的文章用EDX就行了

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