sem做能谱最低多少可以扫出来

最低含量为0.X%。

因为我们进行测量的物质都是定量的，最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

H，He,Li不能产生特征X射线，因此无法用X射线能谱-EDS探测到，

无窗或者超薄窗口探测器，可以探测到B，0.1WT%以上定性和半定量没有问题，但需要良好测试条件，包括样品和设备参数的设定，这个不好找。

俄歇电子探针，几乎是唯一可以满足你对微区超轻元素定性定量分析的手段，包括H he li。

单独的俄歇电子探针巨贵，其功能不是普通SEM/EDS/WDS所能替代的。

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